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冈本OKAMOTO全自动晶圆背面减薄机研磨机GNX200B_Back grinding
冈本OKAMOTO GNX200B全自动晶圆背面减薄机研磨机特点：
研削加工技术：日本机械学会授予冈本标准传送方式及向下研磨方法技术奖。
机械精度的调整方法：通过主轴进行调整，因为可进行原点定位，所以精度调整相当容易；可2处调节。
标准驱动方式：齿轴+定位销进行定位，长年使用也不会发生位移。
标准润滑方式：润滑油及防护罩，防止进入异物造成磨损。
设备刚性：高刚性，不会因老化造成精度变化，部件由冈本自产铸金一体化生产。
全自动晶圆背面减薄机研磨机GNX200B规格：
规格 GNX200B
最大加工直径 Ф200
轴承旋转数 0~3600min-1
轴承驱动电机 2.2/4 Kw/P
轴承进给速率 1~999μm/min
主轴数 2
工作轴旋转数 1~300min-1
轴承尺寸（外径） Ф250
质量 3900mm
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